磁拉单晶超导磁体：半导体集成电路用大尺寸单晶硅生长炉超导磁体，是节能、高效稳定的获取磁场的方法。该超导磁体的研发和产业化可有力推动大尺寸硅片国产化进程，解决我国半导体大硅片行业卡脖子环节，为半导体核心基础材料的供给提供关键核心设备
8寸磁拉单晶超导磁体参数
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分类 |
项目 |
技术指标 |
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尺寸外形 |
外径 |
Φ2070mm |
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内径 |
Φ1300mm |
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本体高度 |
1200mm |
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中心磁场覆盖区域 |
Z轴高度≤320mm |
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重量 |
≤9吨 |
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外观颜色 |
黑色 |
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磁场性能 |
磁场形式 |
水平横向 |
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额定中心磁场强度Bc |
4000Gs |
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漏磁场分布 |
3m≤60Gs@Bc4000Gs |
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励磁时间 |
≤40min |
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允许电源故障时间 |
≤5s |
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冷却方式 |
液氦零蒸发 |
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冷却温度 |
4.2K |
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