低温真空泵：低温真空泵是基于气体冷凝降压效应，将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附，从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中，其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中，低温真空泵均具有不可替代的作用，在上述行业中提供必要的高真空条件。
400mm口径低温真空泵参数
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抽气速度 |
氮气 |
L/s |
5000 |
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氢气 |
10000 |
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氩气 |
4200 |
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水蒸气 |
16000 |
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抽气容量 |
氩气 |
L |
4300 |
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氢气 |
24 |
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极限真空 |
Pa |
10-7 |
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吸气口法兰 |
GB、ISO、ANSI、UVG、LF |
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质量 |
Kg |
70 |
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再生控制器 |
具备再生控制器 |
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