低温真空泵：低温真空泵是基于气体冷凝降压效应，将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附，从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中，其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中，低温真空泵均具有不可替代的作用，在上述行业中提供必要的高真空条件。
550mm口径低温泵性能参数表格：
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抽速（L/s） |
氮气 |
15000 |
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氢气 |
25000 |
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氩气 |
14000 |
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水蒸气 |
39000 |
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容量（L） |
氩气 |
8100 |
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氢气 |
85 |
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极限真空（Pa） |
10-7 |
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吸气口法兰 |
GB、ISO、ANSI、UVG
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质量（kg） |
120 |
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再生控制器 |
自动再生 |
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降温时间(min) |
180 |
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