压缩机使用的是油润滑的涡旋泵，带有润滑油的氦气通过多级油分离系统后，纯度可达到99.999%，满足冷头使用需求。其中油吸附器为可拆卸部件，为了保证整个系统中氦气的纯度，必须每三年更换吸附器。
停机状态时，压缩机平衡压力正常范围为1.45MPa~1.6MPa，开机状态，高压正常范围1.95 MPa ~2.15 MPa，低压正常范围0.4 MPa~0.7 MPa。常温高压氦气通过金属软管进入冷头，高压气体在冷头膨胀制冷后变为低压气体，低压气体返回压缩机。压缩机和冷头或低温泵的距离变化时，用户可定制满足使用长度的金属软管。
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工作介质 |
高纯氦气 ≥99.995% |
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电源需求 |
380V±20V ，3 Phase，50Hz |
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环境温度 |
4℃～38℃ |
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冷却水 |
水冷 流量 ≥6.5L/Min@23℃ 压力 0.1Mpa~1.5Mpa 温度 8℃～35℃ |
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压缩机平衡压力 |
1.5±0.1Mpa |
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正常工作压力 |
高压 1.95～2.1Mpa 低压 0.4～0.7 Mpa |
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保护类型 |
过热保护 压力保护 |
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重量 |
115kg |
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维护周期 |
30000小时 |
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