| 工作介质 | 高纯氦气 ≥99.995% |
| 电源需求 | 380V±20V ，3 Phase，50Hz |
| 环境温度 | 5℃～40℃ |
| 冷却水 |
水冷 流量 ≥6.5L/Min@23℃ 压力 0.1Mpa~1.5Mpa 温度 8℃～35℃ |
| 压缩机平衡压力 | 1.5±0.1Mpa |
| 正常工作压力 |
高压 1.95～2.1Mpa 低压 0.4～0.7 Mpa |
| 保护类型 |
过热保护 压力保护 |
| 重量 | 128kg |
| 维护周期 | 30000小时 |
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